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MEMS电容传感器测量电路研究.rar

图2.2所示为MEMS电容式传感器测量原理示意图。MEMS电容传感器的基本原理是将被测量的变化转换成传感器元件电容量的变化,再经过测量电路将电容量的变化转换成电信号输出...
分类:设计作品 | 字数:13579 | 上传日期:2014-04-01
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